1、系统误差也叫可测误差，一般包括直读光谱仪仪器的本身波动；样品的给定值和实际值存在一定的偏差；待测样品和系列标样之间存在成分的差异，可能导致在蒸发、解离过程中的误差，如背景强度的差别和基体蒸发的差异等。

2、偶然误差是一种无规律性的误差，如试样不均匀；检测时周围的温湿度、电源电压等的变化；样品本身的成分差异等。

3、过失误差是指分析人员工作中的操作失误所得到的结果，可以避免。如制样不精，样品前处理不符合要求，控样和待测试样存在制样偏差，选择了错误的分析程序等。